APP Note 127 - 精密フォーストランスデューサ
フォーストランスデューサは、力を比例する電気信号に変換することができるデバイスです。
TSD125シリーズのフォーストランスデューサは、薄膜歪みゲージを組み込んでいるカンチレバービーム型のロードセルです。非線形生およびヒステリシスを維持しながら、素子がフォトリソグラフィ的にビームに直接生成されているため、これらのトランスデューサは頑丈です。
成膜方法や物理的要素によって歪み素子が非常に良く追跡するため、時間と温度のドリフトも最小化されます。